场发射环境扫描电镜（Environmental Scanning Electron Microscopy）ESEM
设备简介
Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。是在FEI公司著名产品XL30 ESEM-FEG场发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。
Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。
Quanta FEG具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。
Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。
Quanta FEG具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。
设备性能指标
＊ 分辨率：
二次电子：高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)
低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV；
环境真空模式 1.4nm @ 30kV
背散射电子：高真空和低真空模式 2.5nm @ 30kV
扫描透射STEM探测器 0.8nm @ 30kV ；
＊ 加速电压 200V ～ 30kV, 连续可调 ；
＊ 高稳定性Schottky场发射电子枪；
＊ 最大束流 200nA ；
＊ 样品室压力最高达4000Pa ；
＊ 样品台移动范围 X=Y=100mm ；
＊ 稳定的大束流(最大200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析；
＊ 可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析。
二次电子：高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)
低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV；
环境真空模式 1.4nm @ 30kV
背散射电子：高真空和低真空模式 2.5nm @ 30kV
扫描透射STEM探测器 0.8nm @ 30kV ；
＊ 加速电压 200V ～ 30kV, 连续可调 ；
＊ 高稳定性Schottky场发射电子枪；
＊ 最大束流 200nA ；
＊ 样品室压力最高达4000Pa ；
＊ 样品台移动范围 X=Y=100mm ；
＊ 稳定的大束流(最大200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析；
＊ 可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析。